Photrix-光管型
Photrix高溫計(jì)
單晶藍(lán)寶石用作光學(xué)鏡頭,又稱光導(dǎo)管,可以最大程度地發(fā)揮Photrix在侵蝕性的化學(xué)環(huán)境非接觸測(cè)溫的性能。該配置常用于真空處理室和反應(yīng)器中。
- 產(chǎn)品概覽
- 技術(shù)規(guī)格
30 至 670 °C ,波長(zhǎng) 700-1650 nm
70 至 110 °C ,波長(zhǎng) 1550 nm
210 至 1300 °C ,波長(zhǎng) 900 nm
220 至 1300 °C ,波長(zhǎng) 880
快速響應(yīng) (1ms)
測(cè)量精度 +/- 1.5 °C 或讀數(shù) 0.15% of reading
重復(fù)精度 0.01 °C (see TN-828)
半導(dǎo)體
CIGS太陽(yáng)能薄膜電沉積
非晶硅薄膜沉積
CZ 晶體生長(zhǎng)
詳細(xì)說(shuō)明
PhotriX 系列高精度紅外測(cè)溫儀具有業(yè)界最佳的信噪比. 能夠以無(wú)與倫比的精度測(cè)量較低的溫度,以控制高價(jià)值工藝和研究應(yīng)用. 采用藍(lán)寶石光棒(所謂的 “光管”) 作為鏡頭收集來(lái)自目標(biāo)的紅外輻射. 光管鏡頭的優(yōu)點(diǎn)是可提供較低的溫度測(cè)量值,并易于集成到通常用于高級(jí)材料沉積(生長(zhǎng))和蝕刻(去除)工藝的真空反應(yīng)器中.
光管型 Photrix 提供 4 種響應(yīng)波長(zhǎng),具有以下特點(diǎn):
低溫測(cè)試能力 (詳見(jiàn)下表)
選配件包括模擬模塊 ( 4-20 mA 或 0-10V), 帶鏡頭吹掃的保護(hù)套, 8通道模塊。標(biāo)準(zhǔn)配置已包含所有必要的電纜,電源以及軟件和文檔.
典型應(yīng)用
配置選項(xiàng)
| 溫度范圍 | ||||||
| Celsius | Fahrenheit | |||||
| P/N號(hào) | 響應(yīng) 波長(zhǎng) | 直徑2mm 光管鏡頭 | Min (°C) | Max (°C) | Min (°F) | Max (°F) |
| ML-GAPX-LP2-XXX | 700-1650 nm | XXX mm length | 30 | 670 | 86 | 1238 |
| ML-GAPX-LP2-XXX-SS-YYY | 700-1650 nm | XXX mm length, 藍(lán)寶石護(hù)套 YYY mm length | 30 | 670 | 86 | 1238 |
| ML-GAPX-LP2-XXX-SQ-YYY | 700-1650 nm | XXX mm length, 石英護(hù)套 YYY mm length | 30 | 670 | 86 | 1238 |
| ML-AAPX/088-LP2-XXX | 880 nm | XXX mm length | 220 | 1300 | 428 | 2372 |
| ML-AAPX/088-LP2-XXX-SS-YYY | 880 nm | XXX mm length, 藍(lán)寶石護(hù)套 YYY mm length | 220 | 1300 | 428 | 2372 |
| ML-AAPX/088-LP2-XXX-SQ-YYY | 880 nm | XXX mm length, 石英護(hù)套 YYY mm length | 220 | 1300 | 428 | 2372 |
| ML-AAPX/090-LP2-XXX | 900 nm | XXX mm length | 210 | 1300 | 410 | 2372 |
| ML-AAPX/090-LP2-XXX-SS-YYY | 900 nm | XXX mm length, 藍(lán)寶石護(hù)套 YYY mm length | 210 | 1300 | 410 | 2372 |
| ML-AAPX/090-LP2-XXX-SQ-YYY | 900 nm | XXX mm length, 石英護(hù)套 YYY mm length | 210 | 1300 | 410 | 2372 |
| ML-GAPX/155-LP2-XXX | 1550 nm | XXX mm length | 70 | 1100 | 158 | 2012 |
| ML-GAPX/155-LP2-XXX-SS-YYY-Y | 1550 nm | XXX mm length, 藍(lán)寶石護(hù)套 YYY mm length | 70 | 1100 | 158 | 2012 |
| ML-GAPX/155-LP2-XXX-SQ-YYY | 1550 nm | XXX mm length, 石英護(hù)套 YYY mm length | 70 | 1100 | 158 | 2012 |